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Divisione Tecnologie e materiali per l’Industria Manifatturiera Sostenibile

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Laboratorio Film Sottili

Nel laboratorio di deposizione film sottili sono presenti differenti apparecchiature tipo PVD (Physical Vapor Deposition):

  • PVD KENOSISTEC K75 composto da tre sistemi indipendenti: Dual magnetron sputtering, HiPIMS - High Power Impulse Magnetron Sputtering  ed un Cathodic ARC  Equipment
  • KS800 CLUSTER attrezzato con una camera confocale per esperimenti di co-sputtering, evaporazione termica, evaporazione a fascio elettronico e ALD Plasma/thermal Atomic Layer Deposition

Tour Virtuale

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