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Acetylene
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2003
Low-temperature laser-CVD thin film growth of SiC from Si2H 6 and C2H2
,
Santoni, A.
,
Lancok J.
,
Loreti S.
,
Menicucci I.
,
Minarini Carla
,
Fabbri F.
, and
Della Sala Dario
, Journal of Crystal Growth, Volume 258, Number 3-4, p.272-276, (2003)
